Micro-ElectroMechanicalSystems(MEMS传感器)的全称是微型电子机械传感器，它是在半导体制造技术的基础上发展起来的，通过使用IC加工技术，在硅基晶圆上制造微型机械，并与相应的电路集成，从而实现与传统传感器相同的感知功能比如扭力传感器。

微米级甚至纳米级的机电系统MEMS传感器扭力传感器，由于采用集成电路加工技术，以其微型化、易集成、智能化、成本低、能耗低、可批量生产等优势，被誉为“智能尘埃”，解决了自3G通信发展以来，消费类电子产品对传感器体积小、性能高等问题，也推动了消费类电子产业的爆发。

根据感知原理，MEMS传感器有多种类型，分为物理传感器、化学传感器和生物传感器，其中以声、光、电、磁、力、速度、温度等物理传感器种类丰富。根据传感信息的不同，可分为速度传感器、压力、磁力、温度、湿度等传感器；根据应用功能的不同，可分为胎压传感器、陀螺仪、声音传感器、扭力传感器等；根据是否需要供电，可分为主动传感器和被动传感器。应用范围广泛的MEMS传感器包括汽车、消费电子、医疗、航空、通讯、工业、物流仓储等多个领域。根据Yole的数据，2019年全球MEMS市场规模为169.6亿美元，其中国内市场规模为597.8亿元。目前MEMS传感器主要以智能手机和汽车电子为主，随着5G、物联网/车联网以及人工智能等技术的进一步发展，我国对MEMS传感器的需求将出现新一波强劲增长。

我们是MEMS传感器的消费国，而非生产大国。尽管MEMS传感器在近20年的时间里全面走向消费领域，但由于MEMS传感器制造综合了材料、结构、力学、微电子学、光学等学科，结合集成电路制造工艺、封装测试工艺、成本、批量化应用等实际需求，对产学研提出了很高的要求，无论在知识产权、研发周期还是制造工艺方面，进入门槛都很高。MEMS供应商有博世、意法半导体、惠普、德州仪器、佳能、InvenSense、美、日欧房地产电子等。虽然目前国内MEMS传感器还处于全面赶超阶段，但已基本形成了完整的产业链，发展前景广阔。

芯片在MEMS产业链上与集成电路基本相同，国产厂商中值得关注的上市公司主要有：中芯国际(688981)，赛微电子(300456)，晶方科技(603005)；长电科技(600584)，华天科技(002185)，通富微电(002156)，晶方科技(603005)；敏芯科技(688286)，歌尔红外(002414)，共达电声(002655)，瑞声科技(02018.HK)，汉威科技(300007)，金龙机电(300032)，士兰微(600460)，大立科技(002214)，高德红外(002414)，睿创微纳(688003)等。